晶圓烘箱 MES無氧烤箱三清儀器定制

產品簡介
晶圓烘箱 MES無氧烤箱三清儀器定制產品用途范圍：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，，電工產品、材料石英晶體振蕩器，混合集成電路板、零備件等高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗等應用。

產品型號：

更新時間：2025-09-09

廠商性質：生產廠家

訪問量：2281

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產品分類

技術文章

晶圓烘箱 MES無氧烤箱三清儀器定制工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理，內部光亮整潔，自身潔凈不產塵。

產品主要技術參數：

品名	千級潔凈烘箱
型號	SKCOL-9070A*4
工作室尺寸	W400 * D350 * H500 MM
總消耗功率	2.0 KW
潔凈度	Class 100 （立方英尺0.5UM顆粒數小于100，立方米0.5UM顆粒數小于3520）
容積（L）	70 L
溫度	RT+20 ～ +250℃
配置	P.I.D控溫三色燈，急停按鈕

設備技術指標

項目	內容
工作室容積	（400mm×350mm×500mm ）(W寬×D深×H高）
工作溫度范圍	RT+20 ～ +250℃
升溫速率	5℃/min （空載，非線性）
溫度偏差	≤±1℃(空載，恒定狀態(tài)時)
溫度精度/分辨率	±0.1℃
溫度波動度	±1℃(空載，恒定狀態(tài)時)
溫度均勻性	±1.5%(空載，恒定狀態(tài)時) 200℃時誤差為±3℃
時間定時范圍	0 – 9999 小時，分鐘，秒
潔凈等級	Class100 立方米≥0.5UM塵粒≤35000 /立方英尺≥0.5UM塵?！?span style="margin: 0px;">1000
總功率	2.5 KW
電源	220V 50Hz （三相五線）
電源線	2.5米

箱體結構系統(tǒng)

項目	內容
結構方式	整體結構采用單門立式結構，控制柜位于箱體上方，外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后噴塑，工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理，內部光亮整潔，自身潔凈不產塵。
材料構成	1.外壁材料：1.5mm厚度3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑，顏色為工業(yè)白。 2.內壁材料：2.0mm厚SUS304鏡面潔凈不銹鋼板。 3.絕熱材料：100mm厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。
結構強度	箱底板承重能力：≤130Kg（均勻負載）
柜門	1．單開門結構，門框鑲嵌耐高溫硅橡膠密封條。 2．拉手采用拉桿式安全防爆拉手。

備注：干燥箱工作室內部經過堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。用戶在使用潔凈烘箱之前應使用無紡無塵布擦拭工作室內部及隔板。

項目

內容

配置

1．風道位于箱體頂部與背部，高效過濾器H.E.P.A位于箱體風道內部。

2．熱風經過H.E.P.A進入干燥箱內部，再循環(huán)至頂部進入風道，往復循環(huán)。

3．三相異步長軸耐高溫長軸馬達，帶相序保護，超溫過流保護。

4．不銹鋼渦輪扇葉，出廠經動平衡調校，確保送風平穩(wěn)。

5．排風口：不銹鋼排風管，帶自動風閥，排風管位于箱體背部。

工作方式

設備啟動，鼓風裝置持續(xù)運行，箱內熱風循環(huán)。

過濾系統(tǒng)

項目

內容

配置

1．耐高溫高效過濾器，過濾等級H13 (99.97% - 99.99% @0.3um）

2．采用進口耐高溫超細纖維芯材，連續(xù)耐溫350℃，鋁箔隔層，陶瓷膠密封

3．邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條

工作方式

設備啟動，熱風循環(huán)啟動，熱風通過高效過濾器H.E.P.A實現箱內自凈化。

安全保護系統(tǒng)

項目	內容
工作室	獨立式工作室超溫保護器
加熱系統(tǒng)	欠壓、超壓保護.過流保護.加熱器斷線保護.超溫保護
熱風循環(huán)系統(tǒng)	相序保護.缺相，欠壓保護.過熱，過載，過流保護
電源系統(tǒng)	電源缺相及相序錯誤保護.漏電保護.加熱器超溫保護.加熱器短路過流保護
其他	設備外殼接地保護，電磁門禁系統(tǒng)